IklanIklanSemikonduktor+ IKUTIMengunduh lebih banyak dengan myNEWSUMPAN berita yang dipersonalisasi dari cerita yang penting bagi AndaPelajari lebih lanjutTechTech War

• Dengan menerapkan SAQP ke mesin DUV, China dapat membuat chip kelas 5 nanometer yang canggih tanpa memerlukan alat EUV yang lebih canggih yang hanya dijual oleh ASML
• Pemimpin peralatan semikonduktor lokal Naura Technology Group memulai penelitian awal ke dalam sistem litografi pada bulan Maret, menurut sumber

Semikonduktor+ IKUTIPebutan Beijing+ IKUTIPublished: 17:00, 1 Apr 2024Mengapa Anda bisa mempercayai

SCMP Naura Technology Group yang berbasis di Beijing memulai penelitian tentang sistem litografi bulan lalu, menurut orang-orang yang mengetahui masalah ini, ketika pembuat alat semikonduktor buatan China mencoba solusi untuk memproduksi chip canggih tanpa peralatan terbaru dari raksasa Belanda ASML, sebuah terobosan yang berpotensi menggagalkan upaya AS untuk menahan kemampuan pembuatan chip China.

Upaya tersebut, yang melibatkan banyak pemain dalam rantai pasokan semikonduktor China, telah membuat kemajuan penelitian awal, dengan aplikasi paten oleh Huawei Technologies bulan lalu mengungkapkan teknik yang dikenal sebagai pola quadruple self-aligned (self-aligned quadruple patterning), atau SAQP, yang dapat mengetsa garis pada wafer silikon beberapa kali untuk meningkatkan kepadatan transistor dan kinerja chip.

Paten, yang menggabungkan etsa canggih dan litografi, “akan meningkatkan kebebasan desain pola sirkuit”, menurut pengajuan ke Administrasi Kekayaan Intelektual Nasional China, yang pertama kali dilaporkan oleh Bloomberg.

Dengan menggunakan SAQP dengan mesin litografi ultraviolet dalam (DUV) dari raksasa Belanda ASML dan pemasok Jepang seperti Nikon, China dapat membuat chip kelas 5 nanometer yang canggih tanpa memerlukan alat ultraviolet ekstrem (EUV) yang lebih canggih yang hanya tersedia dari ASML.

Perusahaan-perusahaan China telah ditolak aksesnya ke teknologi EUV, tetapi telah menimbun mesin DUV dalam beberapa tahun terakhir di tengah kekhawatiran kontrol ekspor yang lebih ketat oleh Washington dan sekutunya. Presiden China Xi Jinping mengatakan kepada Perdana Menteri Belanda Mark Rutte yang berkunjung di Beijing pekan lalu bahwa “tidak ada kekuatan yang dapat menghentikan laju perkembangan dan kemajuan ilmiah dan teknologi China”, sementara menteri perdagangan China Wang Wentao mengatakan kepada mitranya dari Belanda Geoffrey van Leeuwen bahwa Belanda harus memenuhi “kewajiban kontrak” dan memastikan perdagangan “normal” mesin litografi.

Sementara itu, upaya China selama satu dekade untuk mengembangkan mesin litografinya sendiri telah menemui jalan buntu. Shanghai Micro Electronics Equipment Group (SMEE) milik negara, satu-satunya pembuat sistem litografi di negara itu, belum mendekati pengembangan mesin yang sesuai dengan ASML. Pada Desember 2022, SMEE ditambahkan ke daftar hitam perdagangan AS karena masalah keamanan nasional, yang berarti semakin kecil kemungkinannya untuk mencapai terobosan.

Sejumlah pembuat alat chip China telah muncul sebagai pemain penting dalam upaya untuk mengurangi ketergantungan negara pada mesin impor. Pemimpin peralatan semikonduktor lokal Naura Technology Group telah melakukan penelitian awal ke dalam sistem litografi sejak Maret setelah membentuk program khusus Desember lalu, menurut sumber yang mengetahui masalah tersebut.

Perusahaan telah mengatakan kepada sekelompok kecil insinyur untuk memulai penelitian tentang sistem litografi, yang berada di luar keahlian tradisionalnya dalam etsa dan deposisi film, menurut orang-orang, yang menolak disebutkan namanya karena diskusi itu bersifat pribadi.

Seorang juru bicara Naura mengatakan kepada Post pada hari Senin bahwa informasi itu tidak “benar”, tanpa menjelaskan lebih lanjut.

Meskipun jauh dari pasti bahwa upaya penelitian baru Naura akan membuahkan hasil, langkah tersebut menunjukkan tekad oleh industri chip negara itu untuk mematahkan sanksi yang diatur AS yang bertujuan untuk membatasi kemajuan China dalam semikonduktor dan kecerdasan buatan.

Sementara itu, upaya ini dilakukan dalam kerahasiaan mutlak untuk menghindari sanksi lebih lanjut dari Washington, yang memandang mereka sebagai melewati kontrol ekspor yang ada. Pemerintah AS sedang mempertimbangkan untuk memasukkan sejumlah perusahaan semikonduktor China yang terkait dengan Huawei Technologies ke daftar hitam setelah raksasa teknologi yang berbasis di Shenhen itu mencapai terobosan nyata dalam chip canggih, Bloomberg melaporkan bulan lalu. Salah satu target potensial adalah SiCarrier, pengembang alat chip yang didukung negara yang bekerja dengan Huawei, dan diberikan paten terkait SAQP akhir tahun lalu.
Di tengah suasana ini, Huawei pekan lalu melewatkan konferensi pers tradisional yang biasanya diadakan setelah mengumumkan hasil tahunan, karena kekhawatiran mengambil pertanyaan tentang upaya pembuatan chip rahasianya.

Keterlibatan perusahaan-perusahaan China di seluruh rantai pasokan alat chip diharapkan, karena Beijing menarik sumber daya dari semua lini untuk mencapai terobosan, kata para analis. Dan Hutcheson, wakil ketua perusahaan riset IC TechInsights yang berbasis di AS, mengatakan penelitian SAQP China kemungkinan akan melibatkan perusahaan seperti Naura dan SMEE, karena keahlian etsa dan pengendapan diperlukan untuk litografi.

“Ini didorong oleh paten SAQP SiCarrier, yang menggantikan langkah-langkah litografi optik dengan langkah-langkah etsa dan pengendapan dan akan membantu China mencapai 5-nm,” kata Hutcheson.

SiCarrier yang berbasis di Shenhen diberikan paten serupa oleh otoritas kekayaan intelektual Tiongkok pada Desember 2023, di mana ia menjelaskan metode untuk menggunakan alat DUV dan SAQP untuk mencapai produksi simpul 5-nm, menurut pengajuannya.

Secara terpisah, sebuah memo penelitian oleh analis Citigroup mengklaim bahwa Naura dan saingan lokal Advanced Micro-Fabrication Equipment sedang mencari upaya pelengkap pada teknologi multi-pola baru yang menggunakan teknik etsa untuk mencapai chip 7-nm dan lebih maju, menurut laporan Bloomberg.

Yang pasti, mencapai chip kelas 7-nm, atau bahkan 5-nm, masih berarti China berada di belakang keadaan seni. Pemimpin pengecoran global Taiwan Semiconductor Manufacturing Co memproduksi chip 3-nm untuk Apple tahun lalu, dan dijadwalkan untuk maju ke silikon 2-nm yang diaktifkan oleh mesin EUV terbaru ASML.

Tetapi hanya sedikit yang mau bertaruh melawan China ketika Beijing memiliki kemampuan untuk memobilisasi seluruh rantai pasokan semikonduktor negara itu. Pada akhir 2023, Naura telah mengajukan lebih dari 7.900 paten, dan telah memperoleh hak atas lebih dari 4.600 di antaranya, menurut pengajuan saham perusahaan pada Februari.

48